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產品型號： |
ZH8860 |
產品名稱： |
薄膜方塊電阻測試儀 型號：ZH8860 |
產品報價： |
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產品特點： |
薄膜方塊電阻測試儀主來測量硅外延層、擴散層和離子注入層、導電玻璃（ITO）和其它導電薄膜的方塊電阻。它由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試架、四探針頭及測量軟件組成 |
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ZH8860薄膜方塊電阻測試儀 型號：ZH8860的詳細資料： |
| 薄膜方塊電阻測試儀 型號：ZH8860 | 貨號：ZH8860 | 產品簡介:
薄膜方塊電阻測試儀主來測量硅外延層、擴散層和離子注入層、導電玻璃（ITO）和其它導電薄膜的方塊電阻。它由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試架、四二氧化碳激光光束測試儀探針頭及測量軟件組成
使用范圍
適用于西門子法、硅烷法等生產多晶硅料的企業(yè)
適用于物理提生產多晶硅料生產企業(yè)
適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導體器件企業(yè)
適用于科研、高等院校及需要量程測量電阻率的企業(yè)激光遠場空域參數(shù)測定儀
產品特點
可測方塊電阻：適合檢測硅芯，檢磷棒，檢硼棒，籽晶等圓柱晶體硅
適用于西門子法、硅烷法等生產多晶硅料的企業(yè)
適用于物理提生產多晶硅料生產企業(yè)
適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導體器件企業(yè)
適用于科研、高等院校及需要量程測量電阻率的企業(yè)
測試量程大，電阻率測試儀
主機配置了“小游移四探針頭”了一起數(shù)據(jù)的準確性
儀器消除了珀爾帖效應、塞貝克效應、少子注入效應等負效應的影響，因此測試精度提高
測量精度高，除了具有厚度修正功能外、還有溫度修正、圓片直徑修正等功能
特的設計能消除測量引線和接觸電阻產生的誤差， 測量的高精度和寬的量程范圍
雙數(shù)字表結構使測量，操作簡便
具有的測試數(shù)據(jù)查詢及打印功能
測量系統(tǒng)可實現(xiàn)自動換向測量、求平均值、zui大值、zui小值、平均百分變化率等
四探針頭采用進口紅寶石軸套導向結構，使探針的游移率減小，測量重復性提高
采用進口元器件，留有大的系數(shù)，提高了測試儀的性和使用壽命
測量電流采用高度穩(wěn)定的恒流源（萬分之五精度），不受氣候條件的影響
具有正測反測的功能，測試結果的準確性
具有抗強磁場和抗高頻設備的性能
測量范圍
10-5 ------1.9*105 Ω?cm
10-4------1.9*104 Ω?cm
可測硅棒尺寸： zui大長度300mm；直徑20mm（按用戶要求改）
輸出電流：DC0.001-100mA 五檔連續(xù)可調 測量范圍：0-199.99mV
靈 敏 度： 10μA
輸入阻抗：1000ΩM
電阻測量誤差：檔均低于±0.05%
供電電源：AC 220V ±10% 50/60Hz.
推薦使用環(huán)境：溫度：23±2℃ 相對溫度：≤65%
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| 產品相關關鍵字： 薄膜方塊電阻測試儀 型號：ZH8860 |
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